仪器型号：4200A - SCS
生产厂家：美国Keithley公司
主要技术指标：
(1) 直流IV测试单元：电流源输出电流分辨率可达100 fA。电压量程范围在200 mV - 200 V之间。并配有3个前置放大单元，电流源输出电流最小可到1 pA，分辨率到0.01 fA。前置放大单元为中功率源测量单元的附件，电压参数与其所在模块相同，提高IV测量单元电流量程和精度；
(2) CV测试单元：不同频率下的C - V测试，频率范围：1 K - 10 MHz；可测量Cp – G，Cp - D，Cs - D，R - jX，Z - theta等参数；信号输出电平范围10 mV rms - 100 mV rms，分辨率1 mV；直流偏置电压范围:±30 V；差分模式可达最大60 V。
用途：
该电学测试分析系统用于完成各种半导体器件和材料的电学综合性能测试IV和CV，提供测试数据报告、图形和分析功能。
放置地点： 化学化工学院404
负责人： 李艳周
E-mail: liyanzhou@henu.edu.cn
